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上海半导体洁净室天车系统

时间:2023-07-14 作者:康佛森 点击:194次

半导体洁净室天车系统是一种自动化的物料搬运系统,用于在半导体晶圆厂中高效、准确、安全地传送晶圆盒等物料。它由天花板上的导轨、沿导轨移动的吊车、承载物料的载具以及控制吊车运动的软件系统组成。它可以提高生产效率、节省空间、降低人工干预和污染风险,是先进工艺晶圆厂的主要运输系统。
洁净室天车
 
特点
1、适用于对环境洁净度要求高的场所,如半导体制造、集成电路生产等。它能够减少粉尘、颗粒物和静电等污染因素的产生和传播,确保洁净室环境的纯净度。
 
2、通常根据用户的具体需求进行定制化设计。它可以根据洁净室的尺寸、布局和起重要求等,进行特殊的结构设计和功能配置,以满足用户的特定需求。
 
3、静电是半导体洁净室中常见的污染源之一。半导体洁净室天车系统采取一系列防静电措施,如使用导电材料、静电消除装置等,以减少静电的积聚和释放,避免对洁净室环境和工件的污染。
 
4、具备高精度的定位能力。它使用精密的定位系统和控制算法,能够实现精确的起吊、放下和移动操作。高精度的定位有助于满足半导体制造过程对工件位置和姿态的要求。
 
5、配备多种安全保护功能,如载荷限制、碰撞避免、紧急停止等。它能够通过传感器感知周围环境和工件状态,及时做出相应的反应和调整,以保证起重过程的安全性。
 
6、支持远程监控和控制。用户可以通过远程操作界面,实时监控天车的状态和工作过程,进行远程操作和调整。这有助于提高工作的灵活性和便捷性。
 
上海康佛森工贸有限公司生产的半导体洁净室天车系统能够满足高洁净度要求的半导体制造行业的需求。它能够确保洁净室环境的纯净度,提高生产效率和质量,并降低对人工操作的需求,从而提高工作效率和安全性。

本文网址:https://www.shanghaiqzj.com/news/0G43442023.html

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